发布时间 2026/6/4 14:54:00
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本图纸清洗明了的设计了单片晶圆的清洗，该设备由清洗模块，厂务模块和化学品供应模块（暂缺）等组成。工艺流程为：手动放片--清洗（SC1清洗液--二流体水--兆声水--去离子水/氮气吹干/背洗背吹）-工艺流程可编可选，预留刷洗功能接口。
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